電子光學凈化車間設計方案是什么?電子行業對潔凈室的依賴性,通過近幾十年的發展,中國潔凈室技術的產業鏈已逐步形成,上游包括空氣凈化設備的制造、潔凈室用各種耗材生產;中游包括與潔凈室的設計、建造、調試、測試、運行相關的產業;下游包括各個使用潔凈室的行業。并且,隨著下游產業在中國的快速發展,以及它們對生產環境的要求日益增高,潔凈技術也處于高速發展之中。同樣, 潔凈室技術的發展是下游產業順利進行的有力保障。所以,潔凈室技術與下游產業是互相促進、互相影響的關系。電子光學凈化車間設計方案是什么?
電子潔凈廠房工程其主要特點:1、車間面積大;2、多變性;電子光學行業技術革新快,生產工藝變化,車間平面布局也隨之變化,因此在設計凈化車間時應注意平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。
電子光學凈化車間設計需注意事項
(1)平面由工藝決定,電子凈化車間的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求;
(2)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內墻承重體系;電子光學凈化車間設計方案是什么?
(3)大型電子行業潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種 夾心 式多層構造;
(4)應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口;
(5)電子凈化車間按二級耐火等級設計;
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區)分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區設置的雨篷應不低于3.5M;
(7)電子凈化車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料;
(8)電子光學潔凈室車間允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室;
(9)對于潔凈等級高的潔凈車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具;
(10)電子潔凈室車間常要根據生產工藝要求設置防靜電環境,以便抑制靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全的排除;電子光學凈化車間設計方案是什么?
(11)電子潔凈室車間有對防微振的特殊要求,在廠地環境上應避開振動源;
(12)電子凈化車間除有一般給排水要求外,對超大規格集成電路的用水也有標準;
電子光學潔凈車間的環境參數
參 數
數 值
說 明
截面風速/(M/S)
0.3-0.5電子光學凈化車間設計方案是什么?
0.2-0.4
潔凈度1-3級(ISO)潔凈室
潔凈度4-5級(ISO)潔凈室
換氣次數/(次/H)
50-60
15-25
10-15
潔凈度6級(ISO)潔凈室
潔凈度7級(ISO)潔凈室
潔凈度8-9級(ISO)潔凈室
靜壓差/PA電子光學凈化車間設計方案是什么?
5
10
不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室
之間潔凈室與室外之羊
溫度/。C
18-22
16-20
按具體工程項目要求24-26
26-28
按具體工程項目要求
工藝無要求時的生產環境電子光學凈化車間設計方案是什么?
人員凈化及生活用房
工藝有要求時的生產環境
工藝無要求時的生產環境
人員凈化及生活用房
工藝有要求時的生產環境
相對濕度/%
冬
夏電子光學凈化車間設計方案是什么?
30-50
按具體工程項目要求
50-70
按具體工程項目要求
工藝無要求時的生產環境
工藝有要求時的生產環境電子光學凈化車間設計方案是什么?
工藝無要求時的生產環境
工藝有要求時的生產環境
新風量/[M3/(人.H)
40
噪聲/DB(A)
65
單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室
照度/1X
300-500
200-300電子光學凈化車間設計方案是什么?
非單向流潔凈室主要生產用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外)
其他用房
照度均勻度
0.7
靜電表面電阻率
1*105 1*1010
一級標準為1*105 1*107
靜電體積電阻率
1*104-1*109
地面對地的漏泄電阻電子光學凈化車間設計方案是什么?
*105-1*108
靜電壓
50(45%相對濕度)
4級(ISO)以上潔凈室
振動速度
振動加速度
振幅電子光學凈化車間設計方案是什么?
相對位移量
根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標 隔振設計規范
電磁干擾
4級(ISO)以上潔凈室,當潔凈室靠近高壓輸配電設施時尤為重要
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在應用潔凈室技術的相關行業中,電子行業對潔凈及相關受控環境依賴性最大,潔凈技術在電子行業應用約占整個潔凈行業市場的67%。在我國,電子行業每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產線為代表的微電子行業每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產業作為支撐我國電子信息產業持續發展的戰略性產業,也是潔凈室相關供應商的重要用戶。據調查,世界上面積最大的潔凈室即應用于平板顯示行業,一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。電子光學凈化車間設計方案是什么?
潔凈技術對我國電子信息產業發展意義重大,因為它與產品的成品率有著直接關系。電子行業對生產環境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。上海市室內環境凈化協會在與電子信息潔凈用戶交流過程中,潔凈室節能、潔凈室的化學污染物質的控制、潔凈室氣流組織、潔凈室使用人的培訓及潔凈室運行管理等問題都是熱門話題。
電子光學凈化車間設計方案是什么?目前由于國際上知名大型電子企業紛紛到中國建廠,潔凈室需求也隨之增加,為其提供潔凈技術支持的國際上幾個知名的潔凈技術公司和工程公司也跟著這些企業移師中國,群雄逐鹿,搶占市場。中國的潔凈企業也快速發展,在江蘇吳江地區,從事潔凈設備、施工、建造的企業已經多達2000多家。而中國在潔凈室用手套、抹布和潔凈服等產品生產領域已經成為世界上的主要生產國。隨著我國工業發展的日益高科技化,產品日益精密化、微型化,對潔凈環境的依賴也越來越強,潔凈行業在我國存在著巨大的市場空間。